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Worgull, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-323-31267-7
KITopen ID: 150103521
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Seiten 147-178
Erscheinungsvermerk Qin, Y. [Hrsg.] Micromanufacturing Engineering and Technology 2nd Edition Oxford : William Andrew, an Imprint of Elsevier, 2015 (Micro and Nano Technologies Series)
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