| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-323-31267-7 KITopen-ID: 150103521 |
| HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
| Seiten | 147-178 |
| Erscheinungsvermerk | Qin, Y. [Hrsg.] Micromanufacturing Engineering and Technology 2nd Edition Oxford : William Andrew, an Imprint of Elsevier, 2015 (Micro and Nano Technologies Series) |