Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-323-31267-7 KITopen-ID: 150103521 |
HGF-Programm | 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems |
Seiten | 147-178 |
Erscheinungsvermerk | Qin, Y. [Hrsg.] Micromanufacturing Engineering and Technology 2nd Edition Oxford : William Andrew, an Imprint of Elsevier, 2015 (Micro and Nano Technologies Series) |