Deep X-ray lithography
Meyer, P.
; Schulz, J.
; Saile, V.
; Schulz, J.
; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-323-31267-7 KITopen-ID: 150103522 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Seiten | 365-392 |
| Erscheinungsvermerk | Qin, Y. [Hrsg.] Micromanufacturing Engineering and Technology 2nd Edition Oxford : William Andrew, an Imprint of Elsevier, 2015 (Micro and Nano Technologies Series) |