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Deep X-ray lithography

Meyer, P.; Schulz, J. ORCID iD icon; Saile, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-323-31267-7
KITopen-ID: 150103522
HGF-Programm 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics
Seiten 365-392
Erscheinungsvermerk Qin, Y. [Hrsg.] Micromanufacturing Engineering and Technology 2nd Edition Oxford : William Andrew, an Imprint of Elsevier, 2015 (Micro and Nano Technologies Series)
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