Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 152297 |
| Erschienen in | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 1997), Bad Herrenalb, 21.-23. September 1997 |
| Veranstaltung | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 1997), Bad Herrenalb, Deutschland, 21.09.1997 – 23.09.1997 |
| Seiten | 15 |