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Die Richtungsabhängigkeit der Plasmakeule von verschiedenen perowskitischen Targetmaterialien

Winter, M.; Scherer, Theo; Jutzi, Wilhelm


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 152797
Erschienen in Tagung Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 1997), Bad Herrenalb, 21.-23. September 1997
Veranstaltung Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 1997), Bad Herrenalb, Deutschland, 21.09.1997 – 23.09.1997
Seiten 60
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