Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA152931 KITopen-ID: 15293 Reportnummer: KFK-5171 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 5171 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 16.11.1992 |