KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Molding of LIGA microstructures from polyvinylidene fluoride

Kalb, Helmut; Kowanz, Bernd; Bacher, Walter; Biedermann, Hans; Ruprecht, Robert



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 15595
Erscheinungsvermerk In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 1166-1168.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S169
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page