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Smart acceleration sensor systems based on LIGA micromechanics

Strohrmann, Manfred; Eberle, F.; Fromhein, O.; Keller, W.; Kroemer, O.; Kuehner, T.; Lindemann, K.; Mohr, Jürgen; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 15695
Erscheinungsvermerk In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 753-762.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S170
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