Smart acceleration sensor systems based on LIGA micromechanics
Strohrmann, Manfred; Eberle, F.; Fromhein, O.; Keller, W.; Kroemer, O.; Kuehner, T.; Lindemann, K.; Mohr, Jürgen; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 15695 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 753-762. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S170 |