Materialforschung fuer Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde II (IWK II) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 157293 |
| Erscheinungsvermerk | In: 1. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Kernforschungszentrum Karlsruhe 1993. Karlsruhe 1993. S. 48-54. (KfK. 5238.) |