Development and test of an electrostatically driven linear stepping motor

Kalb, Helmut; Kowanz, Bernd; Bacher, Walter; Mohr, Jürgen; Ruprecht, Robert

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 15795
Erscheinungsvermerk	In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 969-977.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S171