Modeling of real defect outlines for detect size distribution and yield prediction
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 158093 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. International Conference on Microelectronic Test Structures, Sitges, Barc. 1993. S. 75-80. |