Beispiele für Anwendungen der Mikrosystemtechnik in der Optik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 15895 |
| Erscheinungsvermerk | In: Sensortechnik und Mikrosystemtechnik. Villingen-Schwenningen : Industrie- und Handelskammer Schwarzwald-Baar-Heuberg 1994. S. 55-64. (Technologiekongress-Vorträge. 9.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S172 |