The LIGA technique and its potential for microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 15995 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings of the IEEE IECON '94. 20th International Conference on Industrial Electronics Control and Instrumentation, Bologna, Italy 1994. Vol. 3. Piscataway, NJ 1994. S. 1466-1471. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S173 |