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The LIGA technique and its potential for microsystems

Bacher, Walter; Menz, Wolfgang; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 15995
Erscheinungsvermerk In: Proceedings of the IEEE IECON '94. 20th International Conference on Industrial Electronics Control and Instrumentation, Bologna, Italy 1994. Vol. 3. Piscataway, NJ 1994. S. 1466-1471.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S173
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