Herstellung von Infrarotfiltern fuer das Weltraumobservatorium ISO mit Hilfe des LIGA-Verfahrens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 160031033 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | KfK-Nachrichten |
| Band | 48 |
| Erscheinungsvermerk | 23(1991) S.118-23 Jahrbuch Oberflaechentechnik, S.394-402 |