Konzepte der Mikro-/Makroankopplung beim Entwurf von Mikrosystemen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 160036327 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 123-84 |
| Erscheinungsvermerk | Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Verbundprojekt 1992-1994. Zwischenbericht Teltow : VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, 1994 (Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 14) |