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Konzepte der Mikro-/Makroankopplung beim Entwurf von Mikrosystemen

Kohl, M.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 160036327
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Seiten 123-84
Erscheinungsvermerk Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Verbundprojekt 1992-1994. Zwischenbericht Teltow : VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, 1994 (Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 14)
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