Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 160036784 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 153-62 |
Erscheinungsvermerk | Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Verbundprojekt 1992-1994. Abschlußbericht. Teltow : VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH, 1994 (Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 19) |