| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 160041159 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Heft | 4 |
| Seiten | 14-15 |
| Erscheinungsvermerk | LIGA news, (1996) |