Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 160042694 |
HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 30-31 |
Erscheinungsvermerk | HGF-Jahresheft 1998 |