| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 160042694 |
| HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 30-31 |
| Erscheinungsvermerk | HGF-Jahresheft 1998 |