Innovative Hochleistungsplasmaquelle
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 160059756 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Heft | 4 |
| Seiten | 5 |
| Erscheinungsvermerk | Marktplatz r₂b, (2004) |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |