Liga-Technik führt zu Miniaturstrukturen: Mikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren als Basis für Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16095 |
| Erscheinungsvermerk | Schweiz. Maschinenmarkt 48 (1994) S. 74-77. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S174 |