Laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electric lines in microsystems: modeling compared to experiment

Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Ruediger, S.; Schneider, Johannes

; Zum Gahr, Karl-Heinz

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Fakultät für Maschinenbau – Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 161099
Erscheinungsvermerk	In: Proceedings. Microsystems MSM 99, Puerto Rico, USA 1999. S. 105-108.