Laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electric lines in microsystems: modeling compared to experiment
Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Ruediger, S.; Schneider, Johannes
; Zum Gahr, Karl-Heinz
; Zum Gahr, Karl-Heinz| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Keramik im Maschinenbau (IKM) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 161099 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. Microsystems MSM 99, Puerto Rico, USA 1999. S. 105-108. |