Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 16191 |
HGF-Programm | 16.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
Band | 61 |
Seiten | 2038-39 |
Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 62 (1991) S. 2038- 2039. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S234 |