| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16191 |
| HGF-Programm | 16.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 61 |
| Seiten | 2038-39 |
| Erscheinungsvermerk | Rev. of sci. instrum. 62 (1991) S. 2038- 2039. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S234 |