Ein optisches Mikroanalysesystem als Demonstrator der Mikrosystemtechnik

Mohr, Jürgen; Menz, Wolfgang; Mueller, Claas; Reichert, J.; Schomburg, Werner Karl

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 16195
Erscheinungsvermerk	In: Micro-Engineering 94. Kongreß und Ausstellung für Mikrosysteme und Präzisionstechnik, Messe Stuttgart 1994.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S175