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Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik

Kowanz, Bernd; Ehrfeld, Wolfgang


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/16391
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA163919
KITopen-ID: 16391
Reportnummer: KFK-4886
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Serie KfK-Berichte ; 4886
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 14.2.1991
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