Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA163919 KITopen-ID: 16391 Reportnummer: KFK-4886 |
HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Serie | KfK-Berichte ; 4886 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Prüfungsdaten | Diss. v. 14.2.1991 |