| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA163919 KITopen-ID: 16391 Reportnummer: KFK-4886 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4886 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 14.2.1991 |