| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16491 |
| HGF-Programm | 16.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Zeitschrift für Physik D |
| Band | 20 |
| Seiten | 425-28 |
| Erscheinungsvermerk | Z. f. Phys. D 20 (1991) S. 425-428. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S236 |