The LIGA process: a microfabrication technology [in japanischer Sprache]
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16495 |
| Erscheinungsvermerk | FED 5 (1994) No. 1 S. 20-35. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S178 |