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Die LIGA-Technik und ihr Potential für Mikrosysteme

Bacher, Walter 1; Menz, Wolfgang 1; Mohr, Jürgen 1; Müller, Claas 1; Schomburg, Werner Karl 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


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Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0028-1042
KITopen-ID: 16595
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Naturwissenschaften
Verlag Springer
Band 81
Heft 12
Seiten 536-45
Erscheinungsvermerk Naturwiss. 81 (1994) S. 536-545.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S179
Nachgewiesen in Scopus
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