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Die LIGA-Technik und ihr Potential für Mikrosysteme

Bacher, Walter; Menz, Wolfgang; Mohr, Jürgen; Müller, Claas; Schomburg, Werner Karl



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0028-1042
KITopen ID: 16595
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erschienen in Naturwissenschaften
Band 81
Heft 12
Seiten 536-45
Erscheinungsvermerk Naturwiss. 81 (1994) S. 536-545.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S179
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