Die LIGA-Technik und ihr Potential für Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0028-1042 KITopen-ID: 16595 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Naturwissenschaften |
| Verlag | Springer |
| Band | 81 |
| Heft | 12 |
| Seiten | 536-45 |
| Erscheinungsvermerk | Naturwiss. 81 (1994) S. 536-545. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S179 |
| Nachgewiesen in | Scopus |