Assembly for micromechanics and LIGA

Schomburg, Werner Karl; Maas, D.; Bacher, Walter; Buestgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Menz, Wolfgang; Seidel, D.

Seitenaufrufe: 18
seit 13.06.2019

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 16695
Erscheinungsvermerk	In: Workshop digest. MME '94. Micro Mechanics Europe 1994, Pisa, Italy. S. 17-27.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S180