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Assembly for micromechanics and LIGA

Schomburg, Werner Karl; Maas, D.; Bacher, Walter; Buestgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Menz, Wolfgang; Seidel, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 16695
Erscheinungsvermerk In: Workshop digest. MME '94. Micro Mechanics Europe 1994, Pisa, Italy. S. 17-27.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S180
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