Description of microstructures in LIGA-technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 16791 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 13 |
| Heft | 1-4 |
| Seiten | 509-512 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S238 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |