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Description of microstructures in LIGA- technology

Bley, Peter; Bacher, Walter; Menz, Wolfgang; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 16791
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 13
Seiten 509-12
Erscheinungsvermerk Microelectron. engng. 13 (1991) S. 509-512.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 91S238
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