Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 16791 |
HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic Engineering |
Band | 13 |
Seiten | 509-12 |
Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 13 (1991) S. 509-512. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S238 |