Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 16791 |
HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 13 |
Heft | 1-4 |
Seiten | 509-512 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S238 |