| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16795 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings and lectures. Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Vienna 1994. IFWT/TU-Wien, Inst. f. Feinwerktech. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S181 |