Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 16795 |
Erscheinungsvermerk | In: Proceedings and lectures. Seminar on Handling and Assembly of Microparts, Vienna 1994. IFWT/TU-Wien, Inst. f. Feinwerktech. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S181 |