Ti- and Be-x-ray masks with alignment windows for the liga process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16891 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 13 |
| Seiten | 323-26 |
| Erscheinungsvermerk | Microelectron. engng. 13 (1991) S. 323-326. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 91S239 |