Mikrosystemtechnik für Produkte mit Zukunft
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 16895 |
| Erscheinungsvermerk | In: Zukunftssicherung durch Innovation. FTK '94. Berlin 1994. S. 284-309. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S182 |