KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Mikrosystemtechnik für Produkte mit Zukunft

Menz, Wolfgang; Bacher, Walter



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 16895
Erscheinungsvermerk In: Zukunftssicherung durch Innovation. FTK '94. Berlin 1994. S. 284-309.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S182
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page