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Lattice Disorder and Outdiffusion in Ion Implanted InSb and CdTe

Langguth, G.; Lang, E.; Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1971
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170005014
Seiten 228-34
Erscheinungsvermerk Ruge, I., Graul, I. [Hrsg.]: Ion Implantation in Semiconductors. Proc.of the 2. Internat. Conf., Garmisch-Partenkirchen, May 24-28, 1971. Berlin, Heidelberg, New York: Springer 1971.
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