Lattice Disorder and Outdiffusion in Ion Implanted InSb and CdTe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1971 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170005014 |
| Seiten | 228-34 |
| Erscheinungsvermerk | Ruge, I., Graul, I. [Hrsg.]: Ion Implantation in Semiconductors. Proc.of the 2. Internat. Conf., Garmisch-Partenkirchen, May 24-28, 1971. Berlin, Heidelberg, New York: Springer 1971. |