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The present state of ion implantation at the Institut fuer Angewandte Kernphysik of the GfK Karlsruhe. Abstract

Geerk, J.; Langguth, K.G.; Linker, G.; Meyer, O.; Ziemann, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1978
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170012408
Seiten 59
Erscheinungsvermerk 1.Workshop on the Use of HVEE 350 kV Accelerators. Proc. Muenster, October 12-14, 1977. Muenster: Inst.fuer Kernphysik, Univ.Muenster 1978.
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