The present state of ion implantation at the Institut fuer Angewandte Kernphysik of the GfK Karlsruhe. Abstract

Geerk, J.; Langguth, K. G.; Linker, G.; Meyer, O.; Ziemann, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1978
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170012408
Seiten	59
Erscheinungsvermerk	1.Workshop on the Use of HVEE 350 kV Accelerators. Proc. Muenster, October 12-14, 1977. Muenster: Inst.fuer Kernphysik, Univ.Muenster 1978.