Zur Problematik der quantitativen Bestimmung von Kohlenstoff, Stickstoff und Sauerstoff in duennen TiN-Schichten unter Verwendung der Auger-Elektronenspektroskopie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1980 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170014696 |
| Seiten | 413-22 |
| Erscheinungsvermerk | Kraft, G. [Hrsg.] Analysis of Non-Metals in Metals, Proc.of the Internat.Conf. held at Berlin, June 10-13, 1980 Berlin[usw.]: de Gruyter 1981 |