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Influence of the deposition parameters on the superconducting properties of chemical vapor deposited niobium carbonitride

Dietrich, M.; Brennfleck, K.; Fitzer, E.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1981
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170016617
Seiten 759-68
Erscheinungsvermerk Blocher, J.M.; Vuillard, G.E.; Wahl, G. [Hrsg.] Proc.of the 8th Internat.Conf.on Chemical Vapor Deposition, Gouvieux, F, September 15-18, 1981 Pennington, N.J.: Electrochem.Soc.1981
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