Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1984 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170019781 |
Seiten | 663-67 |
Erscheinungsvermerk | Robinson, McD. [Hrsg.] Chemical Vapor Deposition, Proc.of the 9th Internat.Conf., Cincinatti, Ohio, May 6-11, 1984 Pennington, N.J.: Electrochemical Society, 1984. - (Proceedings of the Electrochemical Society; 84-6) |