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Application of ion beam techniques for amorphization and analysis of thin films

Linker, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1986
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170021446
Erscheinungsvermerk Guldan, A. [Hrsg.] Proc.of the 7th Czechoslovak Conf.on Vacuum Physics, Bratislava, CS, September 3-6, 1985 Part I S.683-723 Bratislava: Slovak Academy of Sciences 1985 Vacuum, 36(1986) S.493-501
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