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Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.; Schmidt, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170022829
Seiten 9-11
Erscheinungsvermerk Mikrostruktur-Technologie: Sonderschau Hannover-Messe, 9.-16.April 1986 Duesseldorf : VDI, 1986. -
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