Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren

Becker, E. W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.; Schmidt, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1986
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170022829
Seiten	9-11
Erscheinungsvermerk	Mikrostruktur-Technologie: Sonderschau Hannover-Messe, 9.-16.April 1986 Duesseldorf : VDI, 1986. -