Accuracy limits and potential applications of the LIGA technique in integrated optics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170024108 |
| Seiten | 72-80 |
| Erscheinungsvermerk | Weck, M. [Hrsg.] Micromachining of Elements with Optical and other Submicrometer Dimensional and Surface Specifications, Den Haag, NL, April 2-3, 1987 Bellingham : Internat.Soc.for Optical Engineering 1987. - (Proc. SPIE ; 803) |