Fabrication of microstructures using the LIGA process

Ehrfeld, W.; Bley, P.; Goetz, F.; Hagmann, P.; Maner, A.; Mohr, J.; Moser, H. O.; Muenchmeyer, D.; Schelb, W.; Schmidt, D.; Becker, E. W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1987
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170025028
Erscheinungsvermerk	Proc.of the Micro Robots and Teleoperators Workshop, Hyannis, Cape Cod, Mass., November 9-11, 1987 New York, N.Y. : IEEE, 1987