Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1989 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170025703 |
HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 17-24 |
Erscheinungsvermerk | Internat.Congress on Optical Science and Engineering, Hamburg, September 19-23, 1988 Bellingham : Internat.Soc.for Optical Engineering 1989. - (Proc. SPIE ; 1014) |