| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170025703 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 17-24 |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Congress on Optical Science and Engineering, Hamburg, September 19-23, 1988 Bellingham : Internat.Soc.for Optical Engineering 1989. - (Proc. SPIE ; 1014) |