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Herstellung von elektrischen und optischen Mikroverbindungen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens

Ehrfeld, W.; Becker, E. W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.; Schmidt, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170025713
Seiten 35-493
Erscheinungsvermerk Fachtagung 'Verbindungstechnik in elektrischen und elektrooptischen Geraeten und Systemen '88' der VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik, Karlsruhe, 25.-26.Februar 1988 Duesseldorf : VDI-Verl., 1988. - (VDI-Berichte ; 673)
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