Herstellung von elektrischen und optischen Mikroverbindungen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens

Ehrfeld, W.; Becker, E. W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.; Schmidt, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1988
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170025713
Seiten	35-493
Erscheinungsvermerk	Fachtagung 'Verbindungstechnik in elektrischen und elektrooptischen Geraeten und Systemen '88' der VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik, Karlsruhe, 25.-26.Februar 1988 Duesseldorf : VDI-Verl., 1988. - (VDI-Berichte ; 673)