Electroforming techniques in the LIGA process for the production of microdevices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170025719 |
| Seiten | 577-86 |
| Erscheinungsvermerk | Interfinish '88, 12th World Congress on Surface Finishing, Paris, F, October 4-7, 1988 Proc. Paris : AITE 1988 |