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LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography

Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Muenchmeyer, D.; Schelb, W.; Schmidt, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170026134
Seiten 1-4
Erscheinungsvermerk 1988 Solid State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, S.C., June 6-9, 1988 Proc. New York, N.Y. : IEEE, 1988
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