LIGA process: sensor construction techniques via X-ray lithography

Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Muenchmeyer, D.; Schelb, W.; Schmidt, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1988
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170026134
Seiten	1-4
Erscheinungsvermerk	1988 Solid State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, S.C., June 6-9, 1988 Proc. New York, N.Y. : IEEE, 1988