Microfabrication of sensors and actuators for microrobots
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170026945 |
| Seiten | 3-7 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the IEEE Internat.Workshop on Intelligent Robots and Systems - Toward the Next Generation Robot and System, Tokyo, J, October 31 - November 2, 1988 New York, N.Y. : IEEE 1988 |