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Mikrostrukturierung nach dem LIGA-Verfahren

Schmidt, D.; Bley, P.; Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170027368
HGF-Programm 16.04.01; LK 01
Seiten 63
Erscheinungsvermerk AMA-Seminar Mikromechanik, Heidelberg, 14.-15.Maerz 1989 Tagungsband Wunsdorf : ACS, 1989
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