Mikrostrukturierung nach dem LIGA-Verfahren

Schmidt, D.; Bley, P.; Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Mohr, J.; Muenchmeyer, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1989
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170027368
HGF-Programm	16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	63
Erscheinungsvermerk	AMA-Seminar Mikromechanik, Heidelberg, 14.-15.Maerz 1989 Tagungsband Wunsdorf : ACS, 1989