Aspekte der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170027493 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 99-106 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik '89 : Tagung, Duesseldorf, 19.-20.Juni 1989 Duesseldorf : VDI-Verl., 1989. - (VDI-Berichte ; 777) |