KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Aspekte der Mikrosystemtechnik

Menz, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170027493
HGF-Programm 16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 99-106
Erscheinungsvermerk Mikrotechnik '89 : Tagung, Duesseldorf, 19.-20.Juni 1989 Duesseldorf : VDI-Verl., 1989. - (VDI-Berichte ; 777)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page