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Aspekte der Mikrosystemtechnik

Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170027493
HGF-Programm 16.04.01; LK 01
Seiten 99-106
Erscheinungsvermerk Mikrotechnik '89 : Tagung, Duesseldorf, 19.-20.Juni 1989 Duesseldorf : VDI-Verl., 1989. - (VDI-Berichte ; 777)
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