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Bildanalytische Qualitaetskontrolle in der Mikrofertigung. Ein vollautomatisches, hochflexibles und schnelles Strukturmesssystem

Buerg, B.; Guth, H.; Hellmann, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Datenverarbeitung in der Technik (IDT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170028344
HGF-Programm 16.04.02; LK 01
Seiten 168-72
Erscheinungsvermerk Burkhardt, H. [Hrsg.] Mustererkennung 1989 : 11.DAGM-Symp., Hamburg, Oktober 1989 Proc. Berlin [u.a.] : Springer, 1989
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