Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170028810 |
HGF-Programm | 16.04.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 189-97 |
Erscheinungsvermerk | Cho, D. [Hrsg.] Microstructures, Sensors, and Actuators : Proc.of the 1990 ASME Winter Annual Meeting, Dallas, Tex., November 25-30, 1990 New York : ASME, 1991 DSC-Vol.19 |