Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1990 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170028816 |
HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 10-23 |
Erscheinungsvermerk | MICRO SYSTEM Technologies 90 : 1.Internat.Fachkongress, Berlin, 10.-13.September 1990 Anwenderforum Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1990 |